SiC क्रिस्टल बीउ बन्धनको लागि भ्याकुम हट प्रेसिंग फर्नेस

बीउ क्रिस्टल बन्धन क्रिस्टलको वृद्धिलाई असर गर्ने महत्वपूर्ण प्रक्रियाहरू मध्ये एक हो। बीउ क्रिस्टल बन्धनको विशेषताहरूको आधारमा, सेमिक्सल्याबले बीउ क्रिस्टल बन्धनको लागि विशेष भ्याकुम हट-प्रेस उपकरण विकास गरेको छ। यो उपकरणले बन्धन प्रक्रियाको क्रममा उत्पन्न हुने विभिन्न दोषहरूलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्छ, जसले गर्दा बीउ क्रिस्टल बन्धनको उत्पादन र क्रिस्टलको अन्तिम गुणस्तरमा सुधार हुन्छ।

Ⅰ. बीउ क्रिस्टल बन्धन भ्याकुम हट प्रेस उपकरणको परिचय

१. SiC क्रिस्टल वृद्धि हुनुभन्दा पहिले बीउ क्रिस्टल बन्धनको लागि प्रयोग गरिन्छ;

२. बन्धन गरिएका बीउहरूले २३०० डिग्री सेल्सियसमा छुट्टिनु बिना आसंजन कायम राख्छन्, उच्च समतलता र अशुद्धता सोस्ने रहित सफा वेफर सतहहरू सहित १००% बबल-मुक्त बन्धन प्राप्त गर्छन्;

३. तताउने ट्रेले डिस्क-प्रकारको प्रतिरोधी तताउने प्रयोग गर्छ, जसले गर्दा समान तापक्रम वितरण, सुरक्षित सञ्चालन र प्रयोगकर्ता-मैत्री ह्यान्डलिङ सुनिश्चित हुन्छ;

४. ट्रे मुनि जडान गरिएका प्रेसर सेन्सरहरूले वर्कपीसमा लागू गरिएको प्रेसरलाई ठीकसँग देखाउँछन्।

II. बीज क्रिस्टल भ्याकुम हट प्रेस उपकरणको कार्यात्मक सिंहावलोकन

सेमिक्सल्याब सिड क्रिस्टल भ्याकुम हट प्रेस फर्नेस सिलिकन कार्बाइड सिड क्रिस्टलको भ्याकुम-सहायता प्राप्त हट प्रेसिङको लागि डिजाइन गरिएको हो।

१. दोहोरो तह भएको पानीले चिसो धातुको चेम्बरले प्रभावकारी रूपमा भट्टीको सतहको तापक्रम घटाउँछ, उच्च-तापमानको जोखिमलाई कम गर्छ, र वातावरणीय प्रभावलाई कम गर्छ;

२. स्वचालित नियन्त्रणको साथ स्वचालित दबाब लागू गर्न र होल्ड गर्न, क्रमिक लोड गर्न, र विस्थापन गर्न सक्षम;

३. विविध भ्याकुम प्रणाली कन्फिगरेसनहरूले प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा विभिन्न भ्याकुम स्तरहरूको चयन गर्न अनुमति दिन्छ;

४. एकरूप दबाब वितरण र उच्च तापक्रम नियन्त्रण परिशुद्धता;

५. दबाब अनुप्रयोगले सटीक, स्थिर दबाब वितरणको लागि सटीक मेकानिकल थ्रस्ट संयन्त्रहरू प्रयोग गर्दछ, सुरक्षित सञ्चालन र वातावरणीय अनुकूलता सुनिश्चित गर्दछ;

६. माथिल्लो प्रेस हेड र थ्रस्ट रड बीचको विश्वव्यापी जोड जडानले प्रेसिङको क्रममा माथिल्लो हेड र तल्लो ट्रे बीच अनुकूली समानान्तरताको ग्यारेन्टी दिन्छ, एकरूप दबाब वितरण सुनिश्चित गर्दछ;

७. माथिल्लो प्रेस हेडले कुशनिङ प्रेसर एप्लिकेसनलाई समावेश गर्दछ जसले गर्दा प्रभाव बिना सहज, कोमल बल वितरण हुन्छ, जसले गर्दा वर्कपीस फ्र्याक्चर हुनबाट बचाउँछ;

८. तापक्रम नियन्त्रकसँग ताप स्थानान्तरण प्लेट इन्टरफेसमा एकीकृत तापक्रम सेन्सरहरू, सटीक तापक्रम र प्रोग्रामेटिक नियन्त्रण सक्षम पार्दै;

९. प्यालेट र माथिल्लो प्रेस हेड दुवैमा तापको क्षति कम गर्न इन्सुलेशन उपकरणहरू समावेश गरिएका छन्।

Ⅲ. सेमिक्सल्याब बीज क्रिस्टल भ्याकुम हट प्रेसिंग उपकरणको प्रदर्शन र सुविधाहरू

१. नियन्त्रित पम्पिङ दरको साथ क्रमिक भ्याकुम निकासी;

२. पर्याप्त स्तरोन्नति क्षमताको लागि ठूलो कक्ष;

३. स्वचालित सञ्चालनको साथ स्थिर प्रेस हेड;

४. स्वचालित दबाब ढलान र रेसिपी नियमनको साथ दबाब र्‍याम्पिङ र रिलीज नियन्त्रण;

५. प्रोग्रामेबल तापक्रम र दबाब चक्रको साथ सटीक तापक्रम नियन्त्रण;

६. विविध बन्धन प्रक्रियाहरूको लागि अनुकूलन योग्य भ्याकुम, दबाब, र तापक्रम प्यारामिटरहरू;

७. शून्य बुलबुलेसँग बाक्लो बन्धन;

८. अति कम ब्रेकेज दर—वास्तवमा कुनै उपकरण-प्रेरित फ्र्याक्चर छैन;

९. अनुकूलता: ६-१२ इन्च वेफरहरूलाई समर्थन गर्दछ;

१०. अधिकतम तलतिरको चाप: १.६ टि;

११. अल्टिमेट भ्याकुम: ५ पा (चिसो);

१२. तताउने प्लेटफर्मको तापक्रम एकरूपता: <±३℃, σ<४ (२००℃ मा);

१३. दबाबको उतारचढाव: <०.५%।

बीउ बन्धनको लागि तातो दबाउने भट्टीको प्यारामिटरहरू