SiC सिरेमिक

अर्धचालक उपकरणहरूमा SiC सिरेमिकहरू बढ्दो रूपमा प्रयोग गरिन्छ, मुख्यतया किनभने तिनीहरू कठिन परिस्थितिहरूमा राम्रोसँग टिक्छन्। जब तापक्रम उच्च हुन्छ वा प्रक्रिया बढी आक्रामक हुन्छ, क्वार्ट्ज वा सिलिकन जस्ता सामग्रीहरूले सीमा देखाउन थाल्छन्, र सामान्यतया त्यहीं SiC आउँछ। अक्सिडेशन वा प्रसार जस्ता भट्टी प्रक्रियाहरूमा, SiC बाट बनेका वेफर डुङ्गा वा प्याडल जस्ता भागहरू लामो समयसम्म टिक्छन्। तिनीहरूले आफ्नो आकार कायम राख्छन् र लामो दौड पछि पनि धेरै प्रदूषण ल्याउँदैनन्। मानिसहरू प्रायः यस कारणले क्वार्ट्जबाट स्विच गर्छन्, विशेष गरी जब मर्मत धेरै बारम्बार हुन्छ।

एचिङको लागि, SiC प्रायः यसकारण छनौट गरिन्छ किनभने यो प्लाज्मा लामो समयसम्म बाँच्दछ। सिलिकन भागहरूको तुलनामा जीवनकालको भिन्नता धेरै सेटअपहरूमा उल्लेखनीय छ, यद्यपि यो अझै पनि सही प्रक्रियामा निर्भर गर्दछ। यसले कण नियन्त्रणमा पनि अलि मद्दत गर्दछ, जुन नोडहरू संकुचित हुँदै जाँदा बढी संवेदनशील हुन्छ। तपाईंले MOCVD वा CVD मा SiC लाई ससेप्टरको रूपमा प्रयोग गरिएको पनि देख्नुहुनेछ। ती अवस्थाहरूमा, यो "शक्ति" को बारेमा कम र तापक्रम व्यवहार स्थिर राख्ने बारेमा बढी हुन्छ। त्यसबाहेक, यो लाइनर वा शावरहेडहरू जस्ता चेम्बर भागहरूमा, र कहिलेकाहीँ कम्पोनेन्टहरू ह्यान्डल गर्ने क्रममा पनि देखिन्छ।