CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग

CVD SiC कोटिंग मूलतः ग्रेफाइटमा जम्मा गरिएको सिलिकन कार्बाइड तह हो, र यो एपिटाक्सी उपकरणहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ जहाँ तापक्रम र सरसफाइ दुवैले महत्व राख्छ। वास्तविक उत्पादन लाइनहरूमा, तपाईंले यसलाई प्रायः AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, साथै केही AMAT-सम्बन्धित प्लेटफर्महरूका प्रणालीहरूमा देख्नुहुनेछ। यसलाई उपयोगी बनाउने कुरा भनेको केवल तापक्रम प्रतिरोध मात्र होइन, तर लामो दौडको समयमा समग्र स्थिरता हो। सामान्य एपिटाक्सी अवस्थाहरू - हाइड्रोजन, अमोनिया, वा क्लोरिनेटेड ग्यासहरू - अन्तर्गत कोटिंग अपेक्षाकृत स्थिर रहन्छ र तल ग्रेफाइटलाई सुरक्षित गर्दछ। यसले थर्मल क्षेत्रलाई अझ स्थिर राख्न मद्दत गर्दछ र वृद्धिको समयमा कणहरू देखा पर्ने सम्भावना कम गर्दछ।

धेरैजसो समय, कोटिंग ससेप्टरहरू, वेफर क्यारियरहरू, ग्रेफाइट रिंगहरू, वा अर्ध-चन्द्र कम्पोनेन्टहरू जस्ता भागहरूमा लागू गरिन्छ। यी सबै प्रत्यक्ष रूपमा वेफर तताउने वा स्थितिमा संलग्न हुन्छन्, त्यसैले कुनै पनि सानो अस्थिरताले उपजलाई असर गर्न सक्छ। त्यस कारणले गर्दा, लेपित भागहरूलाई प्रायः उपभोग्य वस्तुहरूको रूपमा व्यवहार गरिन्छ जुन अझै पनि धेरै चक्रहरूमा भरपर्दो हुन आवश्यक छ, विशेष गरी ४ देखि १२ इन्च उत्पादनमा।