MOCVD को लागि SiC लेपित ग्रेफाइट हीटर

उत्पादन विवरण

SiC लेपित ग्रेफाइट MOCVD हीटरले ग्रेफाइटको उत्कृष्ट थर्मल चालकतालाई SiC कोटिंग्सको उच्च तापक्रम र जंग प्रतिरोधसँग जोड्दछ, र वेफर एपिटाक्सी वृद्धि प्रक्रियाहरूमा स्थिरता र उच्च शुद्धता सुनिश्चित गर्न धातु-जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेपण (MOCVD) उपकरणहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

SiC लेपित ग्रेफाइट MOCVD हीटर उत्पादन सुविधाहरू

१. अति उच्च शुद्धता र रासायनिक स्थिरता

शुद्धता ≥९९.९९९९५%: हाम्रो ग्रेफाइट हीटर CVD प्रक्रिया मार्फत उच्च तापक्रम क्लोरिनेशन अन्तर्गत तयार पारिएको छ, जसले धातुको अशुद्धता प्रदूषणलाई प्रभावकारी रूपमा बेवास्ता गर्छ र अर्धचालक निर्माणमा अति-स्वच्छ वातावरणको माग पूरा गर्दछ।

रासायनिक क्षरण विरोधी: SiC कोटिंगको बाक्लो र उच्च कठोरता (२५००-२८०० को विकर्स कठोरता) ले एसिड, क्षार, लवण र जैविक विलायकहरूको क्षरणलाई प्रतिरोध गर्न सक्छ, जसले संक्षारक ग्यास वातावरणमा उपकरणको सेवा जीवनलाई लम्ब्याउँछ।

४. उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध

उच्च तापक्रम स्थिरता: यसले निष्क्रिय वायुमण्डलमा ३०००°C सम्म, भ्याकुम वातावरणमा २२००°C सम्म स्थिर सञ्चालन, र अक्सिडाइजिंग वातावरणमा १६००-१७००°C सम्म सहन सक्छ, जुन MOCVD प्रतिक्रिया कक्षको चरम अवस्थाहरूको लागि उपयुक्त छ।

थर्मल एक्सपेन्सनको कम गुणांक (४.५ x १०-⁶K-¹): MOCVD ग्रेफाइट हीटरको यो सुविधाले तापक्रम परिवर्तनका कारण कोटिंग फुट्ने वा पिलिङ्ग हुने समस्यालाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्छ, जसले गर्दा दीर्घकालीन थर्मल साइकल चलाउँदा संरचनात्मक अखण्डता सुनिश्चित हुन्छ।

३. अनुकूलित थर्मल व्यवस्थापन प्रदर्शन

उच्च तापीय चालकता (२००-३०० W/mK): ग्रेफाइट MOCVD हीटरको उच्च तापीय चालकताले उत्पादनले लगातार वेफर सतह तापक्रम वितरण (±१°C) प्राप्त गर्न द्रुत र समान रूपमा ताप स्थानान्तरण गर्न सक्छ भन्ने निर्धारण गर्छ, जसले गर्दा एपिटेक्सियल तह एकरूपतालाई प्रभावकारी रूपमा सुधार गर्छ।

लामिनार ग्यास प्रवाह क्षेत्र डिजाइन: निरन्तर प्रविधि पुनरावृत्ति र स्तरोन्नति पछि, हाम्रो MOCVD हीटर सतह चिल्लोपन (Ra ≤ 0.8μm) र ज्यामिति अनुकूलनले प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूको एकरूप वितरण सुनिश्चित गर्दछ र अशान्तिको कारणले हुने निक्षेपण गैर-एकरूपतालाई कम गर्दछ।

प्राविधिक प्यारामिटरहरूको तुलना र फाइदाहरू

सेमिक्सल्याब किन?

अनुकूलन: सेमिक्सल्याब हाम्रा ग्राहकहरूलाई अनुकूलित उत्पादनहरू र प्राविधिक सेवाहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ। हामी उपकरणको विस्तृत दायरालाई समायोजन गर्न गैर-मानक आकारहरू (३६० मिमी व्यास सम्म) र कोटिंग मोटाई (२०-५००μm) को अनुकूलनलाई समर्थन गर्छौं।

विश्वव्यापी प्रमाणीकरण: हाम्रो SiC लेपित ग्रेफाइट हीटर SEMI अनुरूप छ, ISO 9001 प्रमाणित छ, र हाम्रा उत्पादनहरू मुख्यतया युरोप र संयुक्त राज्य अमेरिका, साथै जापान र दक्षिण कोरियामा निर्यात गरिन्छ, जसमा मूल्य/प्रदर्शन लाभ उल्लेखनीय छ।

प्राविधिक तालमेल: सेमिक्सल्याबले लामो समयदेखि चीनका शीर्ष अनुसन्धान संस्थाहरूसँग घनिष्ठ सहकार्य कायम राखेको छ, कोटिंग घनत्व र थर्मल झट्का प्रतिरोधलाई अनुकूलन गर्न पेटेन्ट गरिएको कोटिंग प्रविधिहरू (जस्तै CGT कार्बनको SiC³ प्रक्रिया) प्रयोग गर्दै।